The super clean technology of high pure gas supply and ultra-high vacuum process using the electrolytic-abrasive mirror finishing method.

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概要

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• 一般社団法人 表面技術協会の論文

著者

• 前畑 英彦

  日立造船 (株)

• 前畑 英彦

  日立造船 (株) 技術開発本部

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