スパッタイオンプレ-ティングによるTiAlN皮膜の作製と応用 (ドライプロセスによる機能材料の創製<特集>)

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概要

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• 一般社団法人 表面技術協会の論文

著者

• 服部 幸司

  和興産業 (株)

• 前原 博志

  和興産業 (株)

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