16 半導体分析
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概要
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前回(1961)の総説をまとめたころは,半導体の分析といえば,ゲルマニウム,ケイ素中の不純物を対象としたものが主であったが,その後化合物半導体の研究が進むにつれて,これらの中の不純物および主成分の分析に関する報文が多くなった.<BR>今回は単体および無機化合物の半導体を対象に,原則として1961〜1964年の文献を取り上げた.<BR>分析元素および分析方法を対象別に分類して表に示した.印は分析条件の検討を,印は分析結果や結果の比較を行なったもので,分析方法を提案したものでない.<BR>一般に不純物の分析には,単体,化合物を問わず,放射化分析法,発光分光分析法,固体質量分析法が,主成分の分析には化学分析法が多く用いられる.これは,前者では高感度であることが,後者では高精度であることが要求されるためであろう.<BR>以下には,著書および総説と表で扱わなかった試料処理および分離の方法と状態分析について簡単に述べる.
- 社団法人 日本分析化学会の論文