活性合金化法によるセラミック・シール技術

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文

著者

• 室松 剛雄

  電気通信研究所

• 荻野 秀雄

  電気通信研究所

• 吉岡 利一

  電気通信研究所

関連論文

• 超高真空用ポンプ(Vac Ionポンプ)
• 活性合金化法によるセラミック・シール技術

スポンサーリンク