極高真空領域でのスパッタイオンポンプのペニング放電特性-1-(速報)
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概要
著者
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林 義孝
日本アネルバ (株) 富士工場
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近藤 実
日本アネルバ (株) 富士工場
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川崎 洋補
日本アネルバ (株) 富士工場
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小泉 達則
日本アネルバ (株) 富士工場
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栗田 行樹
日本アネルバ (株) 富士工場