RFコンタクト付,ダブルシ-ルオ-トメタルゲ-ト弁の試作と性能評価 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 横内 茂

  理研・原研大型放射光施設研究開発共同チーム

• 裴 碩喜

  理研・原研大型放射光施設研究開発共同チーム

• 八木 恵一

  (株) 大阪真空機器製作所 堺工場

• 大林 哲郎

  (株) 大阪真空機器製作所 堺工場

• 吉田 恵一

  (株) 大阪真空機器製作所 堺工場

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