誘電体薄膜の高温物性-1- (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 出口 哲志

  センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会

• 東海 正國

  センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会

• 小西 浩之

  センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会

• 中村 篤

  センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会

• 中島 聖一

  センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会

• 生田 英雄

  センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会

• 石堂 正弘

  センシング技術応用研究会薄膜センサ技術分科会

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