スピニングロータゲージを用いたヌード型電離真空計の校正

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 川手 剛雄

  神戸製鋼

• 川手 剛雄

  (株) 神戸製鋼所電子技術センター

• 多井 勉

  (株) 神戸製鋼所超電導・低温技術センター

• 川手 剛雄

  (株) 神戸製鋼所超電導・低温技術センター

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