マイクロバランスによる蒸発原子のフラックスと速度の同時測定

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 浅野 隆

  (株) 日立製作所エネルギー研究所

• 植竹 直人

  (株) 日立製作所エネルギー研究所

• 鈴木 一道

  (株) 日立製作所エネルギー研究所

• 鈴木 一道

  日立 エネルギー研

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