機械的真空ポンプの振動対策
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概要
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機械的真空ポンプの振動対策は, ポンプ自身の振動軽減と, ポンプの振動が他に伝わるのを防止することの2つにわけられる.前者は, その機構と関連して難易度がある.また、ポンプが大量の気体を吸引する状態では, ポンプ本体内で, 気体の圧縮に対する反力が不釣合力として現われ, 到達圧力付近での運転とは振動の状況が異なる.この不釣合力を除去するのは極めて困難である.ポンプからの振動伝達防止は, 一般機械の防振と同様に, 考えてよいが, この気体圧縮の状況が変化するのは, 真空ポンプ固有の問題と考えるべきであろう.
- 日本真空協会の論文