Bayard-Alpert型イオンゲージの非直線性を利用した拡散ポンプの到達真空度の決定

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 織田 善次郎

  電々公社電気通信研究所

• 水島 宜彦

  電々公社電気通信研究所

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