熱電気冷却トラップとサブリメーション・ポンプ

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 山崎 寛治

  早川電機工業kk半導体技術部

• 潮田 友四郎

  株式会社徳田製作所

• 守屋 義麿

  守屋応用真空研究所

• 保坂 武男

  株式会社徳田製作所

• 山崎 寛治

  早川電機工業株式会社産業機器事業部第三技術部

関連論文

• 電子冷凍について
• プログラム可変型全自動プラズマCVDシステムの開発(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
• 熱電気冷却トラップとサブリメーション・ポンプ

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