CA(Closed Anode)バイアススパッタリングとTa2N薄膜への応用
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A CA (Closed Anode) bias sputtering method to bombard the substrate effectively and to widen the current region of the stable sputtering was developed. This region was determined by the floating potential of the substrate holder. The lower limit of sputtering current for the stable sputtering was advanced to 1/2 1/5 times that of usual diode sputtering. The Ta<SUB>2</SUB>N films obtained showed a clear plateau and good stability. The films can be used for high reliable resistors.
- 日本真空協会の論文
著者
関連論文
- カラーネットシステム9形カラー受像機
- カラーネット方式9形トランジスタカラーテレビ受像機
- パルス幅AFCの改善
- 受像技術(テレビジョン年報)
- 1)PAL受像の一方式(第27回 テレビジョン方式回路研究委員会)
- 低Q回路の設計法DESIGN ANALYSIS OF THE LOW-Q CIRCUIT by R.L.BADDORF AND R.J. CROOKSHANKS(Electronic Industries, Feb.1958 p, 71-73,Mar.1958,p.82-84)
- AFC回路(II)(テレビジョン受像機の実用設計(12))
- AFC回路(I)(テレビジョン受像機の実用設計講座(11))
- 同期分離回路(テレビジョン受像機の実用設計(10))
- CA(Closed Anode)バイアススパッタリングとTa2N薄膜への応用