真空用ボールベアリングの応用と評価

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 角本 賢一

  光洋精工 (株) 技術本部

• 大西 政良

  光洋精工 (株) 技術本部

• 小林 隆

  光洋精工 (株) 技術本部

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