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真空技術と光学部品(産業の中の真空) (わが国における真空の科学と技術の歩み(30巻記念特集号)) -- (わが国の真空科学・技術の歴史的発展をたどる)
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日本真空協会の論文
著者
成田 重美
真空器械工業 (株)
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