CoNi連続蒸着膜の成膜速度と膜特性

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 阿部 祐三

  三洋電機 AV研究所

• 田沼 俊雄

  三洋電機 ニューマテリアル研究所

• 山中 誠

  三洋電機 (株) 応用技術研究所

• 松浦 宏太郎

  三洋電機 (株) 応用技術研究所

• 田沼 俊雄

  三洋電機 (株) 応用技術研究所

• 阿部 祐三

  三洋電機 (株) 応用技術研究所

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