金属基板上に形成したAl<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>薄膜のアニール効果
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概要
著者
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山中 正策
住友電気工業(株)伊丹研究所
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瀧川 貴稔
住友電気工業(株)伊丹研究所
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五十嵐 廉
住友電気工業(株)伊丹研究所
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山中 正策
住友電気工業
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瀧川 貴稔
住友電気工業 伊丹研
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五十嵐 廉
住友電気工業株式会社伊丹研究所
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山中 正策
住友電気工業株式会社伊丹研究所
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