窒素導入RFスパッタZnS膜の光学的性質

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 伊知地 国夫

  カシオ計算機 (株) 八王子研究所

• 工藤 利雄

  カシオ計算機 (株) 八王子研究所

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