タ-ボ分子ポンプによる極高真空実現の可能性 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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著者

• 琴浦 貞行

  三菱重工業株式会社広島製作所

• 曽我美 晋

  三菱重工業株式会社

• 引田 和雄

  三菱重工業株式会社 広島製作所

• 金子 昭民

  三菱重工業株式会社 広島製作所

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