真空蒸着に用いられる導電性セラミックス“BNコンポジットEC”

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 山下 光雄

  電気化学工業(株)青海工場

• 石井 正司

  電気化学工業株式会社中央研究所

• 山下 光雄

  電気化学工業株式会社中央研究所

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