3.薄膜とエレクトロニクス

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文

著者

• 本多 進

  東京芝浦電気株式会社集積回路技術部

• 本多 進

  東京芝浦電気株式会社

関連論文

• 3.薄膜とエレクトロニクス
• 最近の微小薄膜回路 (II)
• 最近の微小薄膜回路 (I)
• 薄膜パターン形成技術

スポンサーリンク