Vibrating Silicon Microgyroscope
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概要
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A vibrating microgyroscope with a thin polysilicon resonator was fabricated using silicon surface micromachining, and its basic properties were investigated. The 400×800μm2 resonator is driven in a lateral direction by electrostatic force, and angular rate is detected as capacitance change between the resonator and its substrate. Mechanical Q factors for the driving and detecting modes of the polysilicon resonator are 2, 800 and 16, 000, respectively, at pressures below 0.1Pa. The test device worked in a vacuum, and output intensity was decreased at high ambient pressures. A noise-equivalent rate of 2deg/s was obtained at 1Pa.
- 社団法人 電気学会の論文
著者
-
Tanaka Katsuhiko
Murata Manufacturing Co. Ltd.
-
Mochida Yoichi
Murata Manufacturing Co., Ltd.
-
Sugimoto Masakazu
Murata Manufacturing Co., Ltd.
-
Moriya Kazufumi
Murata Manufacturing Co., Ltd.
-
Hasegawa Tomoyasu
Murata Manufacturing Co., Ltd.
-
Atsuchi Kenichi
Murata Manufacturing Co., Ltd.
-
Ohwada Kuniki
Murata Manufacturing Co., Ltd.
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