半導体露光装置におけるディストーション計測の高精度化
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概要
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半導体露光装置のディストーション計測では, 1 nm以下の精度が求められている. しかし, 従来の計測方法は露光装置のXYステージ精度に依存し, 計測精度が不足していた. 本論文では, 2次元最小2乗逐次2点法を応用したディストーション計測法を提案する. 初めに計測原理を説明し, 次に, 本計測法と従来の計測法を実験で比較した. そして, 本計測法の計測値を4回平均すれば, 要求される計測精度が達成できることを示した.
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