硬X線ナノ集光用超高精度楕円ミラーの作製と1次元集光性能の評価
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概要
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数値制御PCVMと数値制御EEM, 新たに開発した形状計測システムRADSIによりX線集光ミラーを作製した. SPring-8において1次元集光特性の評価を行った結果, 15keVのX線で集光強度プロファイルのFWHMで回折限界に近い40nmを実現した.
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