AC大気圧酸素誘電体バリア放電におけるオゾン生成のガス温度分布依存性について
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概要
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AC atmospheric pressure multi-filament dielectric barrier discharge in oxygen has been simulated using two dimensional fluid model. In the discharge, three kinds of streamers have been obtained. They are primary streamers, small scale streamers and secondary streamers. The primary streamers are main streamers in the discharge and the small scale streamers are formed after the ceasing of the primary streamers. And the secondary streamers are formed on the trace of the primary streamers. In these streamers, the primary and the small scale streamers are very effective to generate O(3P) oxygen atoms which are precursor of ozone. And the ozone is generated mainly in the vicinity of the dielectrics. In high gas temperature region, ozone generation decreases in general. However, increase of the O(3P) oxygen atom density in high gas temperature region compensates decrease of ozone generation rate coefficient. As a result, amount of ozone generation has not changed. But if the effect of gas temperature was neglected, amount of ozone generation increases 10%.
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