真空排気と水
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概要
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Some historical background concerning studies on residual water molecules in vacuum chambers and devices are introduced. The effect of adsorbed water molecules on pumping process in initial and steady state is outlined. Pumping delay time due to sojourn time of the molecule is also discussed.
著者
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齊藤 芳男
大学共同利用法人・高エネルギー加速器研究機構・加速器研究施設
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齊藤 芳男
大学共同利用法人・高エネルギー加速器研究機構・加速器研究施設，大学法人・総合研究大学院大学・高エネルギー加速器研究科
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