超小型・高性能回転角センサに用いる同軸照射光学系の開発
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概要
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In the factory automation market, size reduction of parts has rapidly been accelerated, and the demand for downsizing of motors will be increased. We developed an ultra compact optical angle sensor for the ultra compact servomotor. The size of scale disk in this sensor is φ11mm.
著者
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仲嶋 一
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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仲嶋 一
三菱電機（株）先端技術総合研究所
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武舎 武史
三菱電機
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中島 利郎
三菱電機株式会社
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仲嶋 一
三菱電機(株)
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中島 利郎
三菱電機(株)
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武舎 武史
三菱電機（株）
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中島 利郎
三菱電機（株）
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岡室 貴士
三菱電機（株）
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大村 陽一
三菱電機（株）
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佐土根 俊和
三菱電機（株）
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仲嶋 一
三菱電機（株）
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