レーザーアブレーション : ICP-MSによる電子セラミックスの分析

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概要

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• Analysis of electro-ceramics devices requires quantitative analysis of major and minor elements with high sensitivity and a spatial resolution of 10 µm. A new semi-quantitative method was developed using Laser Ablation ICP-MS. Ferrite and ceramic samples were prepared to verify this method. Semi-quantitative values obtained by LA-ICP-MS were in good agreement with reference values obtained by X-ray fluorescence analysis (XRF).

• 2003-02-01

著者

• 福田 啓一

  Tdk(株)開発研究所素材解析技術開発グループ

• 大石 昌弘

  Tdk

• 大石 昌弘

  TDK(株)開発研究所素材解析技術開発グループ

• 大石 昌弘

  TDK(株)技術本部コーポレートR&D評価・解析センター

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