SIMS-SCANllR法における酸素の増感作用
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概要
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In order to investigate the mechanism of oxygen enhancement in ion and photon emission during ion bombaundment, Ar+ ion induced Ga+ ion and Ga (I) photon emissions from GaAs and Ga metal surfaces were simultaneously detected by the SIMS-SCANIIR technique for different amount of oxygen adsorbates. The oxygen coverage of the topmost surface under sputtering was monitored by ISS making use of a double focusing mass spectrometer of a SIMS instrument. Results indicate that the Ga+ion intensity depends on the Ga-O bonding configuration, whereas the Ga (I) photon intensity does simply on the oxygen coverage.
- 日本質量分析学会の論文
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