真空装置のガス放出特性(1)

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概要

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• This article is a lecture on vacuum technique. The discussion matter is outgassing characteristics of water vapor and hydrogen in a vacuum chamber. The role of surface treatment of vacuum chamber is also mentioned from the view of reduction of outgassing rate.

• プラズマ・核融合学会の論文
• 2003-05-25

著者

• 赤石 憲也

  豊田工業大学極限材料

• 赤石 憲也

  豊田工業大学ナノハイテクリサーチセンター

• 赤石 憲也

  豊田工業大学 極限材料専攻

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