<研究速報>超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器ー摩擦駆動面の形状変更による駆動性能の向上ー

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概要

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• 東京大学の論文

著者

• 新野 俊樹=niino

  東京大学生産技術研究所

• 遠藤 康博=endo

  東京大学生産技術研究所

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