辻　泰，齊藤　芳男　著，「真空技術発展の途を探る」（アグネ技術センターより2008年 4 月発刊）の紹介

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 林 義孝

  キヤノンアネルバ株式会社

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