少数学習データと定性的知識を用いた半導体欠陥のクラスタリング
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In semiconductor wafer manufacturing processes, defect candidates are usually extracted by an inspection system. The defect candidates are composed of true defects such as open circuits, contaminants, and bridge as well as non-defect patterns, called nuisances, which dominate true defects. The goal of this study is to classify the defects candidates into each true defect and nuisance using a small number of training data given by SEM inspection. It is shown that the accuracy of the clustering is considerably improved by introducing qualitative knowledge, which is a priori given by an inspector, in the clustering processes.
- 社団法人 電気学会の論文
著者
-
五十嵐 一
北海道大学大学院情報科学研究科システム情報科学専攻
-
五十嵐 一
北海道大学
-
中川 泰夫
日立製作所生産技術研究所
-
中川 泰夫
日立製作所
-
下村 昌平
北海道大学大学院情報科学研究科
-
広井 高志
日立ハイテクノロジーズ
-
細谷 直樹
日立製作所
関連論文
- ボリュームディスプレイを用いた電磁界解析結果の可視化
- 電気鉄道の直流磁界に対する磁気シールドの解析 : 複雑構造物の等価透磁率決定法の検討
- 均質化手法による磁気シールドの解析
- 構造物内部の透磁率分布の逆解析(逆問題)
- 六面体要素自動分割のためのスムージング手法に関する検討
- 六面体要素自動分割手法のための節点移動とスムージングによる要素形状改善に関する研究
- 電波型RFIDアンテナの最適設計
- FDTD法による電波型RFID系通信解析
- デフレーション法による電磁界解析について
- 永久磁石式円筒リニアモータにおける磁気回路の最適設計
- 鉄道レール渦電流探傷のための電磁界解析
- (239)米国大学における教育システムの調査(その2) : 全米トップ5にランクされる3大学の教育システムについての調査結果(セッション69 体系的教育課程の編成・教育における産学連携I)
- 確率論的最適化手法を用いたインダクタ形状最適化についての研究
- 確率論的手法を用いたインダクタの形状最適化
- 六面体辺有限要素解析結果からの磁束線算出手法とバブルシステムによる磁束線配置手法
- 六面体要素自動分割手法の汎用性の向上に関する研究
- Compumag 2007 会議報告
- 複素変数を用いた渦電流の有限要素解析と感度解析について
- 確率論的最適化手法を用いた電磁機器のトポロジー最適化に関する検討
- モーメント法を用いたICタグアンテナの設計最適化
- 反復型吸収境界を用いた有限要素法によるアンテナ解析
- 随伴変数法を用いたロバスト最適化
- 静磁場解析における幾何マルチグリッドの収束性に関する検討
- 実数型遺伝子を用いた進化型計算手法による電磁機器最適化について
- 領域分割と非対称用クリロフ部分空間法を用いた並列計算
- 免疫型アルゴリズムとマルチグリッド法を組み合わせた形状最適化
- 領域分割によるPCG法の並列計算に関する基礎検討
- 8. 森林火災の延焼シミュレーション(大規模森林火災が及ぼす環境への影響)
- 大規模有限要素解析における代数マルチグリッド法の比較検討
- 辺有限要素解析におけるマルチグリッド法のロバスト性について
- マルチグリッド法を用いた有限要素法の渦電流解析への適用
- 電磁界解析における射影行列と部分空間補正
- 球形誘電体レンズ装荷による導波管スロットアンテナの放射特性改善(アンテナ・伝搬)
- LHD超電導導体の過渡安定性解析
- ホール効果を考慮したLHD超電導導体の過渡安定性評価シミュレーション
- 電磁波-回路結合系のFDTD解析の高速化
- 要素形状の歪みとICCG法の収束性に関する検討
- 北海道大学大学院情報科学研究科システム情報科学専攻 システム複合情報学研究室
- 磁性部品の構造最適化設計手法についての研究 (第46回[日本電子材料技術協会]秋期講演大会--優秀賞受賞論文と受賞者の感想)
- 不確定性を考慮したロバスト最適化 (日本シミュレーション学会論文誌)
- 六面体要素形状が有限要素解析に与える影響について
- クリギング法を用いた電磁機器の信頼性解析
- 電磁界解析のアプローチと特徴(電磁界解析プログラムの並列化)
- 電磁界解析法の最近の動向
- 六面体辺有限要素解析結果からの磁束可視化応用
- 六面体辺有限要素解析結果から算出される磁束線の精度に関する検討
- 重み付き評価型の学習機能を有するアダプティブ・メッシング手法
- バブルシステムを用いた磁束線配置手法に関する検討
- An Immune Algorithm for Robust Optimization of Electromagnetical Devices
- 磁場中における磁性粉体の挙動解析
- 電磁界の有限要素解析における特異行列について (微分方程式の数値解法と線形計算)
- 計算電磁気学と逆問題解法による構造材の欠陥診断
- 駆動源のある高周波問題の有限要素解析 : ICCG法の収束性
- 拘束条件を考慮したロバスト最適化
- 電気機器のロバスト最適化の効率化について
- 少数学習データと定性的知識を用いた半導体欠陥のクラスタリング
- 要素形状の歪みとICCG法の収束性に関する検討(その2)
- 多次元空間におけるモデルベースド欠陥検出
- 電磁界解析プログラムの並列化技術研究委員会(研究委員会紹介)
- 電波型パッシブRFIDのための媒質効果の低減(第19回MAGDAコンファレンス)
- FDTD法による導波管スロットアレーアンテナに装荷した球形誘電体レンズの効果の解析(第19回MAGDAコンファレンス)
- 中枢パターン生成器と機械学習によるロボットの運動自動獲得(第19回MAGDAコンファレンス)
- 電磁界解析におけるマルチグリッド法の有限要素法への適用について (産業上の非線形問題と数値シミュレーションと領域分割法)
- 境界要素法解析における疑似特異性の正則化 : 3次元ポテンシャル場の場合
- 軸対称3次元問題の境界要素法解析(自由境界問題の数値解析とその周辺)
- 境界要素法によるプラズマシースの解析
- 電磁界解析における直交化, デフレーション, 誤差補正
- 進化型最適化手法を用いた電磁機器の高効率設計
- 無限辺要素を用いたアンテナの周波数領域解析
- 「第19回MAGDAコンファレンス」特集号によせて(第19回MAGDAコンファレンス)
- 四面体辺有限要素解析のための部分的なスムージングによるメッシュ特性改善についての検討
- 無限辺要素法を用いた磁界解析における精度検証
- 非適合有限要素法を用いたインダクタの三次元形状最適化
- 電波型パッシブRFIDによる電車線路設備のモニタリングシステム
- 非適合ボクセル有限要素を用いた三次元形状最適化
- 多次元空間におけるモデルベースト欠陥検出
- 合理的な忘却型 Profit Sharing 強化学習法
- 昇圧回路の高効率化を目的としたインダクタの3次元形状最適化
- 昇圧回路の高効率化を目的としたインダクタの3次元形状最適化
- 要素形状の歪みとICCG法の収束性に関する検討(その2)
- 非適合有限要素法を用いたインダクタの三次元形状最適化
- 細分割ツールを利用した大規模並列磁場解析(第3報)
- 鉄道レール渦電流探傷のための電磁界解析
- 六面体要素自動分割のためのスムージング手法に関する検討
- 多次元空間におけるモデルベースド欠陥検出
- 非適合ボクセル有限要素を用いた三次元形状最適化
- 電磁波-回路結合系のFDTD解析の高速化
- 有限要素法による圧粉磁心のマクロ磁気特性の解析
- 有限要素法による圧粉磁心のマクロ磁気特性の解析
- 鉄道レール渦電流探傷のための電磁界解析
- 準静電磁界の有限要素解析へのモデルリダクションの適用
- 電磁界解析における射影行列と部分空間補正
- 要素形状の歪みとICCG法の収束性に関する検討
- 電磁界数値解析で役立つ解析積分公式集(その1)
- 無限辺要素を用いたアンテナの周波数領域解析
- 電磁界解析における直交化, デフレーション, 誤差補正
- 複素変数を用いた渦電流の有限要素解析と感度解析について
- 散乱光分布を利用した半導体ウエハ上の欠陥種分類および寸法推定に関する研究
- 六面体要素自動分割のためのスムージング手法に関する検討
- ボリュームディスプレイを用いた電磁界解析結果の可視化