技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構における情報管理と発信
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概要
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技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構（EUVA）は2002年に設立され，2010年から市場へ投入される次世代半導体露光装置に使われるEUV光源と投影光学系の技術開発を推進している。欧米との開発競争のなかで，EUVAは研究開発活動およびEUVAの意義を広く理解してもらうための情報発信，管理を進めている。情報システム構成，内部の電子ファイル管理，ホームページの構成，インターネットによる遠隔会議について紹介するとともに，成果発表，プレスへの広報など広範囲な情報発信活動について述べた。