研究速報 : Design of a Positioning Table Using Crystalline Lattice and Surface Topography as a Reference Index

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概要

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• 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,Dept. of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Institute of Industrial Science, University of Tokyo. 精密機械の論文
• 1988-12-01

著者

• Higuchi T

  Univ. Tokyo Jpn

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