コンベンショナルフロ-型クリ-ンル-ム内の気流性状に関する研究--室内障害物および給排気分配のバラツキの影響の数値解析 (乱流の数値シミュレ-ション(NST)-4-<特集>)
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概要
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特集 乱流の数値シミュレーション(NST) その4実際のクリーンルーム内には生産装置等さまざまな気流障害物が設置される。また吹出、吸込風量の調節も完全に均等にすることは困難であり、これらには相当のバラツキがある。これの擾乱要因が室内全体の気流・拡散性状へ影響を及ぼす可能性は大きい。本稿では、これらの影響を主に数値シミュレーションにより解析、検討した結果を示す。なお、気流障害物を有する場合の数値解析に関しては、模型実験との整合性を高めるため境界条件、移流項の差分スキーム等の解析条件を検討した結果も合わせて示す
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