反応性スパッタリング法によるチタン添加酸化ジルコニウム薄膜の作製と評価
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概要
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- 明治大学理工学部の論文
- 2001-09-30
明治大学理工学部 | 論文
- 反応性スパッタリング法によるチタン添加酸化ジルコニウム薄膜の作製と評価
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