カリウムイオンSiO_2エレクトレット膜の帯電特性(機能ナノデバイス及び関連技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
カリウムイオンをシリコン酸化膜の中に混入させ帯電膜とする新しいエレクトレット膜形成方法を開発した。シリコンを水蒸気酸化する際に、キャリアガスで水酸化カリウム水溶液をバブリングして酸化炉内に導入する。酸化後に700℃程度の高温で電圧を印加することで印加した電圧とほぼ等しい帯電膜を得るが、本講演では静電型アクチュエータによる帯電のその場観察と帯電電圧測定、帯電電圧の経時変化などについて報告する。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2014-02-20