三次元積層技術の世界動向と日本のこれからの取組み(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)

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概要

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• 三次元積層技術に関する世界の開発動向と日本の開発状況を概観し,現状の課題と日本における今後の開発活動の可能性を述べる.

• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2013-07-25

著者

• 池田 博明

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)

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