小型共焦点顕微鏡の開発

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概要

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• 共焦点レーザ顕微鏡は高い分解能や定量性により高精度な微細形状計測の研究に必須の機器になりつつあり,産業用途としては微細化の一途を辿る半導体の品質検査などに用いられている.また,光を用いているため試料の持つ情報を非侵襲,非破壊で取り出せるという大きなメリットを持つ.このことから,生きた細胞の計測を目的とした医療,生物学の分野でも応用,発展が期待されている.しかし,従来製品は価格が非常に高く,かつ複雑な構造で大掛かりであることが問題として指摘されている.本稿では,小型で安価な共焦点レーザ顕微鏡の開発を目的とした光学系構成の検討,およびその光学系を用いた計測実験の結果を基に実際に小型試作機を作成した.

• 一般社団法人情報処理学会の論文
• 2012-03-06

著者

• 堀米 秀嘉

  豊橋技術科学大学

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