G-43 クリーンルームにおける室圧変動に関する実験的研究(その1) : 実験室の概要と扉開閉および局所排気発停による室圧変動に関する実験
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概要
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The Room Pressure Control is one of the Important Demand Performances for Contamination Control in a Cleanroom.This Paper is Outline of Basic Experiments on Room Pressure Fluctuation with Door Operation and Local Ventilation Operation, to Construct the Room Pressure Control System Corresponding to the Demand Performance.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2007-08-24
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