F-37 半閉止板を用いた天井レターン方式クリーンルームの開発 : (第2報)除塵性能の評価
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概要
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A clean room with a ceiling-return system using ventilation resistor panels returns a proportion of the air in the retention zone at the ventilation resistor panels to the ceiling chamber. In doing so, a system shrinks the retention zone while simultaneously lowering dust concentration in that zone. This paper presents results on the extent of the impact of the ventilation resistor panels, the relationship between outlet wind speed from the fan filter unit, inlet wind speed from the ventilation resistor panels, and dust concentration of the retention zone, and the recovery characteristics of dust concentration below the ventilation resistor panels and below the shut-off panels.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2006-09-05
著者
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