25aYF-11 波長可変SH顕微鏡によるシリコンの不純物ドープパターンの観察(25aYF 表面界面電子物性,領域9(表面・界面,結晶成長分野))

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 2002-03-01

著者

• 佐野 陽之

  北陸先端大材料

• 水谷 五郎

  北陸先端大:jst-crest

• 池田 順一

  北陸先端大材料

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