27pPSA-53 窒素とヘリウムDBDプラズマ処理された酸化チタン薄膜の表面状態(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 2013-08-26
著者
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川上 烈生
徳島大院工
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新部 正人
兵庫県大高度研
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松永 史彦
ペガサスソフトウェア
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中野 由崇
中部大総工研
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山田 哲也
徳島大院工
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仲 祐弥
徳島大院工
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白濱 達夫
徳島大院工
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青木 一馬
徳島大院工
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高畑 麻里
徳島大院工
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大場 健太
徳島大院工