半導体製造およびプラズマ・バイオ科学のためのプラズマ源に関する研究(バイオ,エレクトロニクス,材料,界面,その場観察,その他一般)

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概要

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• 我々は地域産業の活性化を念頭に半導体産業,農業では特に畜産業などにも注目して研究を行っており,当該現場における計測技術を通したソリューションをテーマに研究開発を進めている.上記分野のニーズに対応すべく,半導体製造時に用いられる減圧プラズマ,生体の表面反応への応用が期待される大気圧プラズマなどのプラズマ源の開発も行っている.本発表ではそれらのプラズマ源の観測法,特に半導体生産現場におけるその場観測の必要性についても述べ,開発中のプラズマインピーダンスその場観測システムについて概説する.

• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2013-02-26

著者

• 福田 修

  (独) 産業技術総合研究所

• 福田 修

  (独) 産総研 生産計測技術研究センター

• 本村 大成

  (独) 産総研 生産計測技術研究センター

• 笠嶋 悠司

  (独) 産総研 生産計測技術研究センター

• 上杉 文彦

  (独) 産総研 生産計測技術研究センター

• 菊永 和也

  (独) 産総研 生産計測技術研究センター

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