407 同時スパッタリング法によるLaNi_<1-X>Rh_XO_3ペロブスカイト酸化物薄膜の作製とその電気伝導性(OS4 生産技術)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2011-09-16

著者

• 山田 智

  帝京大

• 坂田 裕介

  帝京大・院

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