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概要

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• This experimental study aims at measurement concentration of jet diffusion. The hot wire concentration sensor to measure the concentration of components in binary mixture of gases is described. The concentration sensor consists of a concentration probe, a vacuum pump, a hot wire amplifier. And the concentration probe consists a brass sonic nozzle, a brass tube, tungsten hot wire to measure gas thermal conductivity of gas mixture. Now, this concentration sensor is produced by using the MEMS technology. This sensor is a composition on the chip such as a sonic nozzle, the micro channels, and the hot film sensors.

• 2011-03-17

著者

• 秋元 雅翔

  日大院

• 秋元 雅翔

  Nihon University

• 木村 元昭

  Nihon University

• 池田 昌平

  Nihon University

• 宮城 徳誠

  Nihon University

• 高橋 直樹

  Nihon University

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