210107 ガラスの微細加工における偏光を利用した工具位置検出技術の開発(OS15 生産加工1,オーガナイズド・セッション)

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概要

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• Glass micromachining process is effective to manufacture a wide variety of microfluidic chips in small quantity. This process has advantages, such as fabrication of 3D shaped channels, accurate and fast production in micro order and low environmental load compared with chemical one. However, it is technically difficult in cutting process to detect a contact position of micro tool edge on the glass workpiece. In this study, a novel technology applying the polarization of laser beam is proposed to detect the contact position. As the experimental result, the drastic change of polarized light intensity is observed just after the micro end mill comes in touch with glass plate.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2011-03-17

著者

• 柿沼 康弘

  慶大

• 高畑 直輝

  慶大

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