18pFN-5 Si(100)表面酸化における立体異方性 : 面内方位依存性の観測(18pFN 表面界面ダイナミクス,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 2012-08-24

著者

• 山内 泰

  物質・材料研究機構

• 倉橋 光紀

  物質・材料研究機構

• 倉橋 光紀

  物材機構

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