PLS-160dBを実現した画素内保持容量内蔵のローリングシャッタ歪なし3次元積層イメージセンサ(固体撮像技術および一般〜IEDM, SPIE EI, ISSCC特集〜)

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概要

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• PSL (parasitic light sensitivity) -160dBの画素内保持容量を有したローリングシャッタ歪なしイメージセンサを、裏面照射型のフォトダイオードアレイを形成した基板と画素内ストレージアレイを形成した基板を3次元積層することで実現した。このイメージセンサは、8.6μmピッチの内部接続電極を有し、内部接続電極の歩留りは99.9%以上であることを確認している。

• 2013-03-15

著者

• 近藤 亨

  オリンパス(株)

• 五味 祐一

  オリンパス(株)

• 竹本 良章

  オリンパス(株)

• 加藤 秀樹

  オリンパス(株)

• 高澤 直裕

  オリンパス(株)

• 齊藤 晴久

  オリンパス(株)

• 青木 潤

  オリンパス(株)

• 小林 賢司

  オリンパス(株)

• 坂口 直史

  オリンパス(株)

• 月村 光宏

  オリンパス(株)

• 只木 芳隆

  オリンパス(株)

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